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闭志强; 《仪器仪表用户 》 2003
摘要:简单介绍T330扫描电镜真空系统的结构和日常维护。通过二例故障的分析,说明故障处理的方法。
关键词: 扫描电镜 真空系统 旋转泵 扩散泵
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